์์ฅ์์ ๋ํ๋ฅผ๋น๋๊ธฐํ์ฌ๋ฃ๋กํด์ํ๋๊ฒ๊ฐ๋ค.๋ฌ๋ฌ-์์ญ์1,320์๋๋ฅผ์๋ํ ๊ฒ์ผ๋ก์์ํ๋ค.๊ฐ๋ฐค๋ด์์ฆ์๋์๋๊ฐ์๋ฐ๋ฑํ๋ค.ํ๋ฒ์์์น์ธ๋ฅผ๋๋๋ฆด๋งํ์ํฉ์ด๋ค.
๋ฐ๋์ฒด๊ธฐ์ ๋ง์ดํฌ๋ก ํ ํฌ๋๋ก์ง๋์์๊ณผ๋ฌ๋ฆฌ๋ถ๊ธฐ์์ต์๋ฌ์ฑํ๊ณ ,๋งค์ถ๋์์์น๋ฅผ์๋์๋ค๋์์์์ฃผ๊ฐ๋14%์ด์์ฌ๋ผ.์๋น๋์๊ฐ1%์ด์์ค๋ฅด๊ณ ASMLํ๋ฉ์ด2%์ด์์ฌ๋ผ.
๊ธฐํ๊ธ์ตํ์ฑํ๋ฅผ์ํด์๋RE100(์ฌ์์๋์ง100%์ฌ์ฉ)ํ๋๋ฅผ๋ง๋ค์ด๊ธฐํํ ํฌ๋ฑํํ์๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ์๊ธ์ต์ง์์๊ฐํํ๋ค.
(์ธ์ข =์ฐํฉ์ธํฌ๋งฅ์ค)์ต์ง์ฐ๊ธฐ์=๊น๋ณํ๊ธฐํ์ฌ์ ๋ถ1์ฐจ๊ด์21์ผ"์ ๋ถ์๋ฌผ๊ฐ์์ ๋์ฑ ์ด์๋น์๊ฐ๊ฒฉ์์ ๋๋ก๋ฐ์๋ผ์ผํ๋ค"๊ณ ๊ฐ์กฐํ๋ค.
์ผ๋ณธ์ํ๋ด์์๋๋์ ์ ์๋ฏธ๊ตญ์์ ์ฑ ๊ณผ์๊ด์์ด์์ ๋กญ๊ฒ์์ง์ผ์์๋ค๋ํ๋จ๋์ํฅ์๋ฏธ์น๊ณ ์๋ค๋ฉฐ์ ๋ฌธ์๋ถ์๊ธฐ๋ฅผ์ ํ๋ค.๊ณตํ๋น๋์ ํ๋ณด์ธ๋๋๋ํธ๋ผํ์ ๋ฏธ๊ตญ๋ํต๋ น์ด์ฌ์์์ ๋กฌํ์์ฐ์ค์์ฅ์์ฐ์ํ์ง์๊ฒ ๋ค๋์์ง๋ฅผ๋ด๋น์น์ ๋์ ๋ฌธ์๊ฐ์กฐํ๋ค.
ํญ์ ์ง์๋์ค์ ๊ฑฐ๋์์3%๋ฐ๋ ธ๊ณ ,H์ฃผ๋3.5%ํ๋ฝํ๋๊ธ๋ฝ์ธ๋ฅผ๋ํ๋๋ค.
์ํ์ํ์ธํ๋๋ฌ๋"์ง์ค์ํฉ์ด๊ฐ์ ๋๋ฉด์์ฐจ์ ์ด์ค์ด๋ ๊ฒ๊ฐ๋ค.์ด๋ฐ์ํฉ์๋ฐ์ํด์ด๋จ๊ธฐ๋ฌผ์ด์ฝ์ธ๋ฅผ๋ณด์๋ค"๊ณ ๋งํ๋ค.
21์ผ์์ธ์ธํ์์ฅ์ด์ํ์ํ์๋ฐ๋ฅด๋ฉด์ ์ผ๊ธฐ์คํด์ธ์ธ๊ตญํ์ ๋ฌด์ทจ๊ธ๊ธฐ๊ด(RFI)์ผ๋ก๋ฑ๋ก๋๊ธฐ๊ด์15๊ณณ์ผ๋ก์ง๊ณ๋๋ค.